Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

02.10.2013

Времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов TOF.SIMS-5, работающий с импульсным аналитическим пучком ионов Bi+ с энергией 25 кэВ и распыляющим пучком ионов Cs+ с энергией 2 кэВ, использовался для изучения состава приповерхностных слоёв контактов из железно-никелевого сплава (пермаллоя) после их обработки в импульсной азотной плазме непосредственно в герметизированных приборах. В области перекрытия контактов (рабочей области) было обнаружено образование окси-нитридного покрытия толщиной 20-25 нм. Установлено, что это покрытие имеет диффузионный характер и его происхождение связано преимущественно с процессами ионного азотирования.


← К списку публикаций

 

Система менеджмента качества сертифицирована ISO 9001:2015

В составе холдинга Росэлектроника

«Горячая линия» - система сбора информации для борьбы с мошенничеством, хищениями и коррупцией

Новости

17.01.2019

РЗМКП обновил собственный рекорд по продажам герконов
За 12 месяцев 2018 года было продано 218 миллионов штук герконов различных модификаций

05.12.2018

Успейте купить по выгодной цене!
АО «РЗМКП» проводит распродажу складских остатков герконов и солнечных модулей. Информацию по ассортименту и актуальным ценам можно получить на нашем сайте или по телефонам (4912) 44-19-70; (4912) 24-97-89.