Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS

Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS

06.03.2015

We focus on the origin and sources of surface contamination and defects causing the failure of MEMS electrostatic switches. The morphology, and elemental and chemical compositions of the contacting surfaces, conducting paths, and other parts of switches have been characterized by means of SEM, EDXA, and XPS in order to understand the difference between the data collected for the devices that had passed the electrical conductivity test and those found to be defective. C, O, Al, Ca, Ti, Cu, and some other impurities were detected on the details of defective switches. Contrariwise, the working switches were found to be clean, at least on the level of EDXA and XPS sensitivity. The main sources of surface contamination and defects were incompletely deleted sacrificial layers, substrate materials, and electrolytes employed for Rh plating of the contacts. The negative influence of foreign microparticles, especially alumina and copper oxides, on the conductivity and porosity of contacts was highlighted.


← К списку публикаций

 

Система менеджмента качества сертифицирована DIN EN ISO 9001-2008 № 15 100 21437

В составе холдинга Росэлектроника

«Горячая линия» - система сбора информации для борьбы с мошенничеством, хищениями и коррупцией

Новости

24.05.2017

Расширение линейки герконов в пластмассовом корпусе!
Специалисты АО «РЗМКП» представляют Вашему вниманию новинки 2017 года

27.04.2017

Неделя без турникетов
В рамках Всероссийской профориентационной акции «Неделя без турникетов», проводимой с 17 по 23 апреля 2017 года, учащиеся школ № 35, 44, 53, 63 города Рязани и студенты Рязанского колледжа электроники, а это более 100 человек, посетили основные производственные участки, музей АО «Рязанский завод металлокерамических приборов». В ходе проводимых экскурсий учащиеся узнали об истории и традициях предприятия, познакомились с процессом производства. Перед ними выступили руководители структурных подразделений, ведущие специалисты, высококвалифицированные рабочие. В плане закрепления полученной информации о предприятии каждому участнику были вручены буклеты, памятные сувениры с символикой завода.