Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS

Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS

06.03.2015

We focus on the origin and sources of surface contamination and defects causing the failure of MEMS electrostatic switches. The morphology, and elemental and chemical compositions of the contacting surfaces, conducting paths, and other parts of switches have been characterized by means of SEM, EDXA, and XPS in order to understand the difference between the data collected for the devices that had passed the electrical conductivity test and those found to be defective. C, O, Al, Ca, Ti, Cu, and some other impurities were detected on the details of defective switches. Contrariwise, the working switches were found to be clean, at least on the level of EDXA and XPS sensitivity. The main sources of surface contamination and defects were incompletely deleted sacrificial layers, substrate materials, and electrolytes employed for Rh plating of the contacts. The negative influence of foreign microparticles, especially alumina and copper oxides, on the conductivity and porosity of contacts was highlighted.


← К списку публикаций

 

Система менеджмента качества сертифицирована DIN EN ISO 9001-2008 № 15 100 21437

В составе холдинга Росэлектроника

«Горячая линия» - система сбора информации для борьбы с мошенничеством, хищениями и коррупцией

Новости

31.10.2016

Неделя без турникетов
В период с 17 по 23 октября 2016 г. в АО «Рязанский завод металлокерамических приборов» прошла Всероссийская акция «Неделя без турникетов» - ключевое мероприятие федеральной программы «Работай в России», в ходе которой предприятие посетили более 100 школьников и студентов учебных заведений города Рязани. Основной целью акции являлось интерактивное знакомстве школьников и студентов с технологией производства на заводе, профессиями, востребованными на предприятии, а также знакомство с историей предприятия в заводском музее. Проведение акции предусматривает систему ранней профориентации, направленной на развитие отечественного машиностроения и промышленности в целом.

11.08.2016

Лучшее предприятие России
Акционерное общество «Рязанский завод металлокерамических приборов» по итогам 2015 года вошло в число номинантов Всеросcийского Рейтинга качества товаров и услуг «Звезда Качества» и получило статус «Лучшее предприятие страны».